文部科学省先端研究基盤共用・プラットフォーム形成事業(平成22年-平成27年)

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施設について

1.クラス1000クリーンルーム

クラス1000クリーンルーム 本クリーンルームはエアシャワー室と清浄度クラス1000(パーティクルサイズ0.3μm、面積約25m2)のクリーンルームより構成されています。クリーンルーム内はレジスト剤感光防止用照明によりイエロールームとなっています。

2.化学処理用ドラフトチャンバー

化学処理用ドラフトチャンバー 酸・アルカリ用および有機溶剤用の2台のスクラバー付きドラフトチャンバーが設置されており、それぞれ純水および超純水が使用可能です。

3.超薄膜形成装置

超薄膜形成装置 到達真空度10-3Torrの超音速パルスバブル付き薄膜成長チャンバーおよび予備排気室より構成される薄膜形成装置であり、化学気相堆積法(CVD)による有機シリコンガスを主としたSi系薄膜形成が可能です。

4.走査型プローブ顕微鏡
(SPM:Scanning Probe Microscope)

走査型プローブ顕微鏡 スキャナモジュールを付け替えることにより、走査型トンネル顕微鏡(STM)、原子間力顕微鏡(AFM)、ケルビンプローブフォース顕微鏡(KFM)として使用可能です。AFMの場合、コンタクトとノンコンタクト(AAC)モードが選択でき、導電性Tipを用いることにより電流電圧特性の評価もできます。さらに、広範囲な観測が可能なスキャナヘッド(走査範囲:90μm、Z範囲:8μm、垂直分解能:0.5A)と垂直方向の精度が高いスキャナヘッド(走査範囲:9μm、Z範囲:2μm、垂直分解能:<0.2A)の2つを使い分けることにより、観測用途に応じた測定が可能です。

5.走査型マイクロ波顕微鏡
(SMM:Scanning Microwave Microscope)

本装置では、ネットワークアナライザーからのマイクロ波を直径5nmのナノプローブに導入して試料に照射し、その反射率をネットワークアナライザーにより測定します。校正を行えば、ナノスケールで試料のインピーダンス絶対値測定が可能となります。