文部科学省先端研究基盤共用・プラットフォーム形成事業(平成22年-平成27年)

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施設利用案内

クリーン実験ステーション運転状況

クラス1000クリーンルーム 利用可
化学処理用ドラフトチャンバー 利用可
ガス供給システム 利用可
超薄膜形成装置 利用可
Agilent Scanning Microwave Microscope 利用可